上海新傲科技公司设立中国首家商业化SOI晶圆厂

资源类型:pdf 资源大小:99.00KB 文档分类:经济 上传者:胡发志

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【作者】 章从福 

【出版日期】2003-06-15

【摘要】<正> 中国科学院上海微系统与资讯技术研究所上海新傲科技有限公司设立了中国首家商业化绝缘硅(SOI)晶圆厂。该晶圆厂具备年产3万片SOI晶圆的生产能力,其主要客户来自国外,但本地的需求正在迅速成长中。上海新傲曾于2002年向美国Ibis Technology公司订购离子注入机和其它元件,其晶圆采用Ibis公司的SIMOX技术。

【刊名】半导体信息

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中国科学院上海微系统与资讯技术研究所上海新傲科技有限公司设立了中国首家商业化绝缘硅(501)晶圆厂。该晶圆厂具备年产3万片501晶圆的生产能力,其主要客户来自国外,但本地的需求正在迅速成长中。上海新傲曾于2002年向美国Ibis Teohnolog声公司订购离子注入机和其它元件,其晶圆采用Ibis公司的SIMOX技术。上海新傲科技公司设立中国首家商业化SOI晶圆厂@章从福<正> 中国科学院上海微系统与资讯技术研究所上海新傲科技有限公司设立了中国首家商业化绝缘硅(SOI)晶圆厂。该晶圆厂具备年产3万片SOI晶圆的生产能力,其主要客户来自国外,但本地的需求正在迅速成长中。上海新傲曾于2002年向美国Ibis Technology公司订购离子注入机和其它元件,其晶圆采用Ibis公司的SIMOX技术。

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