基于虚拟仪器的电子车间环境监控系统的设计

作者:宋秦中 秦俊银 李雪 刊名:伊犁师范学院学报:自然科学版 上传者:王培刚

【摘要】设计了基于虚拟仪器技术环境监控系统,通过数据采集卡和LabVIEW强大的数据处理和图形显示能力实现了对车间温度和湿度数据的采集、显示、分析处理。该系统能够提高电子车间环境参数监控的质量和水平,系统界面友好,易于拓展,有一定市场价值。

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年 月 第 卷 第 期 伊 犁 师 范 学 院 学 报 (自然 科 学 版 ) () 基于虚拟仪器 的电子 车 间环境监控 系统 的设计 宋秦 中,秦俊 银 ,李 雪 (苏州市职业大学 电子信息工程学院 ,江苏 苏州 ) 摘 要 :设计 了基 于虚拟 仪 器技 术 环 境监 控 系统 ,通过 数据 采 集 卡和 强 大的数 据 处 理和 图形 显 示能 力 实现 了对 车 间温度 和 湿度数 据 的采 集 、显 示 、分析 处理 该 系统 能够提 高电子 车 间环境参数监控的质量和水平,系统界面友好 ,易于拓展 ,有一定市场价值 关 键词 :虚 拟仪 器技 术 ;温湿度监 控 ;市场价值 中图分类号 : 文献标识码 : 文章编号 :() 引言 基 于 虚拟 仪 器 的无尘 车 间环 境 监控 系 统主 要 由 机 、数 据采 集 卡 、信号 调 理 电路 、温 湿 度传 感 器 等 随着 半 导体 生产 工 艺 的 不 断发 展 ,更 精 密 和集 组成 ,主要 功 能如 下 : 成 度 更 高 是 行 业 发 展 的趋 势 目前 ,制 造 工 艺 已经 ()对 当前 的温 度 、湿度 以及 含 尘量 进 行实 时 监 进入亚纳米时代 ,线宽都在 之 间 ,对生产 控 ,采 集 到 的数 据 可 以 曲线 、数 值 两 种 方 式 显 示 出 设 备 的精 度 要 求 越 来 越 严 格 因 此 ,除 了设 备 本 身 来 ,以便进 行人 机 交 互 ,另外 设 置 了数据 存 盘 函数 , 的工 艺 水平 需 要 达 到 生产 要 求 以外 ,其 所 处 的 生产 保 存 采集 数据 以备 后用 环 境 净 室 的各 项 指标 也 必 须 被严 格 地 控 制 ,包 ()采 集 到 的信 号 由 虚 拟 仪器 软 件 实 括 洁 净度 、温 湿度 、照度 、气 流 方 向 、振 动静 电 、磁 场 现智能控制 ,当采集的数据在设定值的阈值范围内时 以及有害气体等其中的温湿度控制是重点 ,其控制 系统 不调 节 ,当采 集 的数 据偏 离 给定 值 的 阈值范 围 , 的效 果 直 接 影 响 着 生 产 的优 良率 …电子 车 间监 控 进 行警告 提示 ,并且 打开相 应 的处 理设备 进行处 理 系 统 是 一 种 具 有 自动 控 温 、加 热 、除 湿 等 功 能 的温 ()可 以根 据 工 作 环 境 的需 要 对 给 定值 的 阈值 湿 度 调 节 系统 传 统 车 间 环境 各 种 数 据 都 是采 用 人 范 围进 行 调节 工 读 数 和记 录 ,停 留在 手 工 和 数 字 仪 表 的水 平 ,效 因此 ,设 计 的 车 间环 境 监 控 系 统 由 以下 三个 部 率 不 高 ,无 法 做 到 对大 量 的实 验数 据 的实 时采 集 和 分组成 : 分 析 本 文 主 要 是 对 电 子 车 间 温湿 度 控 制 进 行 研 ()数 据采 集 部 分 主要 由传 感 器 、变送 器 和数 究 ,基于虚拟仪器技术 ,搭建 电子车间温湿度监控 据采集 卡 ()组成 传 感器 、变 送器将 电子 车间 中 系 统 ,它 可在 计 算 机 上 完 成 被 控 温 度 的实 时显 示 , 待检 测 的模 拟 量信 息 转 化 为 电量 ,经 过

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