类金刚石膜的制备、性能及应用

作者:张晶;范真 刊名:工具技术 上传者:齐秀玲

【摘要】介绍了类金刚石膜的结构、制备方法和发展现状,综述了DLC膜的机械、电子、光学和生物学性能以及在这些领域中的应用状况。

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2  杨质苍1精密机械制造工艺学银川 :宁夏人民出版社 , 1988 3  王立江 ,赵 继 ,谭庆昌1超声波振动车削的运动学及其 加工表面质量. 兵工学报 ,1987(3) :24 4  V I Babitsky , A N Kalashnikov , A Meadows , A A H P Wije2sundara. Ultrasonically assisted turning of aviation materials. Journal of Materials Processing Tech2nology , 2003 , 132 :157~ 167 5  T Moriwaki , E Shamoto. Ultraprecision diamond turning of stainless steel by applying ultrasonic vibration. Annals of CIRP , 1991 ,40 : 559~562 6  Ishikawa K, Suwabe H , Nishide T, Uneda M. A study on combined vibration drilling by ultrasonic and lowfrequency vibrations for hard and brittle materials. Prec. Eng. , 1998 ,22 (4) : 196~205 7  Astashev VK. Effect of ultrasonic vibration of a single2point tool on the pro - cess of cutting. J. Mach. Manuf. Reliab. ,1992 , 3 :65~70 第一作者 :陈  杰 ,硕士 ,工程师 ,中国工程物理研究院 , 621900 四川省绵阳市 收稿日期:2007 年 10 月 类金刚石膜的制备、性能及应用 张  晶1 ,2  范  真1  1 江苏大学  2 镇江高等专科学校 摘  要 :介绍了类金刚石膜的结构、制备方法和发展现状 ,综述了 DLC膜的机械、电子、光学和生物学性能以及 在这些领域中的应用状况。 关键词 :类金刚石膜 ,  制备 ,  性能 ,  应用 Property , Preparation and Application of Diamond - like Carbon Film Zhang Jing  Fan Zhen Abstract : The structures of diamond2like carbon (DLC) films ,the deposition methods and development actuality of the filmsare introduced. The properties and applications of DLC in the fields of machinery , electronics , optics and medicine are reviewed. Keywords :diamond2like carbon film(DLC) ,  preparation ,  property ,  application   1  引言 类金刚石膜(DLC)是一种与金刚石膜性能相似的新型薄膜材料 ,它具有较高的硬度 ,良好的热传导率 ,极低的摩擦系数 ,优异的电绝缘性能 ,高的化学稳定性及红外透光性能[1]

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