基于聚酰亚胺基底的热剪切应力传感器设计

资源类型: 资源大小: 文档分类:工业技术 上传者:闫永黎

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【作者】 孙永明  刘武  张卫平  陈宏海 

【关键词】柔性传感器阵列 双热线 聚酰亚胺 有限元分析 MEMS 

【出版日期】2013-08-20

【摘要】设计了一种基于柔性MEMS技术的双热线结构剪切应力传感器,可以实现曲体表面上二维剪切应力的矢量测量,对于实现流场的主动控制具有重要的意义。介绍了双热线热剪切应力传感器及其阵列的原理和结构设计;通过有限元仿真分析对器件的尺寸参数进行了优化设计;利用MEMS工艺制作方法,实现了信号背线引接技术,减少了对流场的干扰。实验结果表明:工艺流程设计和器件参数设计合理,传感器阵列具有良好测试性能。

【刊名】传感器与微系统

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