辉光放电光谱法分析掺杂纳米硅薄膜的研究

资源类型: 资源大小: 文档分类:数理科学和化学 上传者:杨洪斌

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【作者】 张毅  陈英颖  吴则嘉  刘晓晗  杨晟远  张林春 

【关键词】辉光放电光谱法 掺杂纳米硅薄膜 溅射 

【出版日期】2005-02-18

【摘要】介绍了利用辉光放电光谱法分析掺杂纳米硅薄膜,通过优化辉光光源激发参数、计算标准样品的溅射率,建立了掺杂纳米硅薄膜的定量表面分析方法。方法应用于实际掺杂纳米硅薄膜样品的分析,并将分析深度、剖析结果与表面形貌仪的结果进行了对照。试验结果表明,分析方法快速、准确,具有实际应用价值。

【刊名】理化检验(化学分册)

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