一种定向凝固生长太阳能电池用的多晶硅锭制造工艺

作者:杨波;黄亚萍;颜培培;杨道祥 刊名: 上传者:李亚娟

【摘要】本发明公开了一种定向凝固生长太阳能电池用的多晶硅锭制造工艺,其工艺参数包括,真空加热、硅料熔化、定向凝固长晶、退火、硅锭冷却5个阶段。本发明采用定向凝固法,定向凝固法是在热交换法的基础上改进形成的,它在多晶硅料熔融后通过提升隔热,使得底部的石墨冷却块与炉体产生辐射换热以及炉内氢气氛围的对流散热,因此加热装置和坩埚在多晶硅料的熔融及晶体生长过程中保持静止,只有隔热罩一个运动部件,大大简化了操作,增加底部冷却块的散热强度受隔热罩控制。

参考文献

引证文献

问答

我要提问