声表面波射频标签的快速有限元/边界元分析

作者:柯亚兵;李红浪;何世堂 刊名:压电与声光 上传者:杨磊

【摘要】改进了漏波近似体波格林函数的快速有限元/边界元法,并应用该声表面波射频标签的分析。Peach提出漏波近似体波格林函数的理论但其方法需要经验公式计算漏波参数,该文提出了不需要经验公式的改进方法。该方法根据不同衰减的漏波在空间域不同分布的原理,在空间域格林函数中区分出各漏波的贡献,然后采用数学拟合提取出漏波参数,最后以128°YX-LiNbO3基片为例计算证实了该方法的有效性。采用改进的快速有限元/边界元分析一种声表面波射频标签器件,仿真与实验吻合证明了该方法的精确性。

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  收稿日期:2012-03-09   基金项目:国家自然基金资助项目(10834010 ,11174318 ,61071054 )   作者简介:柯亚兵(1984-),男,湖北黄石人,博士生,主要从事声表面波传感器与射频电子标签的研究。通信作者:李红浪, E-mail:lhl@ mail.ioa.ac.cn。   文章编号:1004-2474(2013)01-0016-03 声表面波射频标签的快速有限元/边界元分析 柯亚兵,李红浪,何世堂 (中国科学院 声学研究所声学微机电系统实验室,北京100190)   摘 要:改进了漏波近似体波格林函数的快速有限元/边界元法,并应用该声表面波射频标签的分析。Peach提出漏波近似体波格林函数的理论但其方法需要经验公式计算漏波参数,该文提出了不需要经验公式的改进方法。该方法根据不同衰减的漏波在空间域不同分布的原理,在空间域格林函数中区分出各漏波的贡献,然后采用 数学拟合提取出漏波参数,最后以128° YX -LiNbO3 基片为例计算证实了该方法的有效性。采用改进的快速有限 元/边界元分析一种声表面波射频标签器件,仿真与实验吻合证明了该方法的精确性。 关键词:声表面波器件;射频标签;有限元/边界元;体波;格林函数中图分类号:TN65   文献标识码: A Fast FEM/BEM Analysis for SAW RFID KE Yabing,LI Honglang,HE Shitang ( Acoustical Micro-Electric Mechanics System Lab.,Institute of Acoustics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China)   Abstract:The fast FEM/BEM method that approximates the residual Green’ s function by  a superposition of leaky wave modes is improved in this paper,and is used to analyze surface acoustic wave(SAW)radio frequency  i- dentification(RFID)devices.The improved method distinguishes their contributions from the spatial Green’ s func- tion and then contract the coefficients of leaky wave modes,which can avoid Peach’ s problem of calculating the coef- ficients of leaky wave modes by empirical formula.For an example of 128° YX -LiNbO3substrate,the feasibility of the improved method is confirmed.The improved method is used for the simulation of a SAW RFID device.The simula-tion result agrees well with the experimental result,which shows that the impro

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