热式质量流量计中MEMS悬臂梁开关的研究

作者:张志利;吴元庆;王鹏;郭卉;李益敏;李艳 刊名: 上传者:孟祥明

【摘要】为了降低热式质量流量计的功耗,延长供电电池的使用寿命.设计基于悬臂梁的热式质量流量计开关,将其置于气流通道的前端,用于控制流量计电路的通断.对悬臂梁的制作工艺进行了设计,采用纳米压印的方法制备悬臂梁,并对悬臂梁的效果进行仿真和验证,结果证明此结构对降低功耗起到重要作用,具有广泛的应用价值.

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