一种采用局域注氧技术制备的新型DSOI器件(英文)

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【作者】 何平  江波  林曦  刘理天  田立林  李志坚  董业明  陈猛  王曦 

【关键词】 DSOI  SOI  局域注氧技术  自热效应  热阻 

【出版日期】2003-06-08

【摘要】为了克服传统 SOI器件的浮体效应和自热效应 ,采用创新的工艺方法将低剂量局域 SIMOX工艺及传统的CMOS工艺结合 ,实现了 DSOI结构的器件 .测试结果表明 ,该器件消除了传统 SOI器件的浮体效应 ,同时自热效应得到很大的改善 ,提高了可靠性和稳定性 .而原先 SOI器件具备的优点得到了保留

【刊名】半导体学报

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