氧分压对TiO_2膜结构与光学性质的影响

资源类型: 资源大小: 文档分类:数理科学和化学 上传者:赵培华

文档信息

【作者】 朱凤  赵坤  赵夔  王莉芳  全胜文 

【关键词】反应溅射 TiO2薄膜 氧分压 折射率 禁带宽度 

【出版日期】2002-06-25

【摘要】报道了用反应溅射法制备TiO2 膜的实验研究 .详细研究了膜的沉积、膜结构及其光学性质 ,随溅射氧分压的变化 .随氧分压由 6× 10 - 2 Pa增加到 9× 10 - 2 Pa时 ,晶体结构由金红石变到锐钛矿 ,氧分压超过 9× 10 - 2 Pa时趋向于无定形结构 .与膜结构密切相关的折射率n随氧分压的增大由 2 .4 4变到 1.96 ,禁带宽度Eg 则由大变小 ,然后再增大的变化 (3.4 1→ 3.2 6→3.4 2 ) .

【刊名】膜科学与技术

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