Hydrogenation of zirconium film by implantation of hydrogen ions

资源类型: 资源大小: 文档分类:数理科学和化学 上传者:王敏

文档信息

【作者】 刘洋[1]  方开洪[2]  吕会议[1]  刘际伟[3]  王博宇[4] 

【关键词】氢离子注入 氢化锆 金属膜 氢化物 原子力显微镜 X射线衍射仪 扫描电子显微镜 相互作用机制 

【出版日期】2017-01-01

【刊名】等离子体科学与技术:英文版

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