Hydrogenation of Silicon Tetrachloride in Microwave Plasma

资源类型: 资源大小: 文档分类:工业技术 上传者:李云集

文档信息

【作者】 占振西  张伟刚 

【关键词】微波等离子体 四氯化硅 氢化 特征温度 转化率 摩尔比 非热平衡 平衡常数 

【出版日期】2014-04-07

【刊名】中国化学工程学报(英文版)

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