Ti/Ti-类金刚石多层膜的制备与表征

作者:黄江涛;毛斐;虞烈;汤皎宁 刊名:《物理学报》 上传者:金光浩

【摘要】采用电子回旋共振.化学气相沉积结合中频磁控溅射的真空镀膜技术,以99.99%Ti为靶材,乙炔为碳源制备了Ti/Ti-类金刚石(DLC)多层膜.利用x射线衍射仪、扫描电子显微镜、x射线光电子能谱仪对Ti/Ti-DLC多层膜进行了相结构、组织、成分及形态分析.采用显微硬度仪、摩擦磨损仪、表面粗糙度仪对Ti/Ti-DLC多层膜进行了力学性能考察.结果表明:Ti/Ti-DLC多层膜中主要含有TiC晶相;Ti层和Ti-DLC层中未出现柱状晶体生长模式,分层中均以岛状模式生长;当调制周期A≤50nm时,分层结构变模糊;调制周期以对Ti用.DLC多层膜的复合硬度、摩擦系数、表面形貌、表面粗糙度都有影响,当调制周期以较小时表现出纳米增硬效应,表面出现大颗粒,表面粗糙度和摩擦系数均变大.

参考文献

引证文献

问答

我要提问