影响铝刻蚀质量的几个因素(无全文)

作者:朱以胜 刊名:集成电路通讯 上传者:

抱歉,该篇全文还没有人上传哦!我要 上传, 我要 求助

【摘要】讨论了刻蚀设备的本底真空度、腔室衬底温度对铝刻蚀速率、各向异性、选择性和光刻胶完整性等主要参数的影响。还了为队去残余物和防止Al浸蚀而采取的一些措施和方法。

参考文献

引证文献

问答

我要提问